Centrum Dydaktyczno-Naukowe Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego
Badania z zakresu mikroelektroniki i nanotechnologii wspierające innowacje w przemyśle

CENTRUM MIKROTECHNIKI I NANOTECHNOLOGII UR
Najnowocześniejsze pracownie studenckie
Centrum wyposażone jest w nowoczesną aparaturę badawczą
Nanostruktury
Dzięki technologii MBE możliwe jest wytwarzanie zaawansowanych nanostruktur
Innowacyjne projekty badawcze
W Centrum prowadzone są badania z zakresu mikroelektroniki i nanotechnologii na potrzeby przemysłu i nauki
Aktualności
Zapraszamy na webinar z cyklu „Ostatni czwartek miesiąca z PSLBiW”.
Laboratorium Technologiczne MBE z Kontrolą Jakości Nanostruktur – zasoby, możliwości badawcze
25.02.2021 r. (czwartek), godz. 12.00
REJESTRACJA: https://webinar.getresponse.com/wgbRf/laboratorium-mbe
W PROGRAMIE:
- Prezentacja technologii wytwarzania struktur z dokładnością do monowarstw atomowych w oparciu o pierwiastki grupy II-VI i III-V, pod kątem aplikacji np.: detektory podczerwieni w zakresie 3-12um, lasery kaskadowe
- Charakterystyka technologii wytwarzania MBE: zalety, wady, możliwości, obszary zastosowania, możliwości aplikacyjne, cykle produkcji
- Charakterystyka narzędzi tworzących linie weryfikacji produktu końcowego w tym: XRD, TOF-SIMS, AFM, SEM, oraz metody litografii niezbędne do tworzenia urządzeń do zastosowań aplikacyjnych.
PRELEGENCI:
Dr Michał Marchewka – Dyrektor Centrum Dydaktyczno-Naukowego Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego
Dr Małgorzata Trzyna-Sowa – Specjalista TOF SIMS. Naukowo związana z analiza struktur półprzewodnikowych na poziomie warstw atomowych
Dr Ewa Bobko – specjalista litografii i XRD. W zespole odpowiedzialna za wdrożenie litografii na strukturach III-V i II-VI pod katem aplikacyjnym
Mgr inż. Piotr Krzemiński – Specjalista obrazowania SEM
Udział w webinarze jest bezpłatny i otwarty dla wszystkich. Aby aktywnie uczestniczyć w wydarzeniu należy zapisać się i połączyć poprzez GetResponse.
Zapraszamy!
Nowy mikroskop podczerwieni BRUKER LUMOS II
Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego zakupiło na stołowy mikroskop podczerwieni LUMOS II firmy Bruker. W momencie zakupu był to pierwszy egzemplarz tego urządzenia zainstalowany w Polsce. LUMOS II łączy zalety mikroskopii optycznej ze spektrometrią w podczerwieni (FT-IR) umożliwiając identyfikację i charakteryzację niewielkich cząstek, defektów i anomalii rejestrowanych w obrębie badanych próbek. Zakupiony mikroskop znajdzie zastosowanie m.in. w analizie powierzchni, w szeroko pojętej kontroli jakości w zakresie podczerwieni w celu weryfikacji czy badane materiały są zgodne ze przewidywaną specyfikacją. Badaniom mogą być poddane struktury półprzewodnikowe jak również próbki biologiczne czy polimery. Mikroskop został wyposażony w dwa detektory chłodzone ciekłym azotem. Pierwszym z nich to detektor MCT umożliwiający analizy punktowe w trybach ATR, transmisji i odbiciowym. Drugim detektorem jest matryca FPA, dzięki której jest możliwe mapowanie powierzchni próbki z wykorzystaniem trybów ATR, transmisji i odbiciowym. Rozdzielczość pojedynczego piksela detektora FPA wynosi 5 µm w trybach transmisyjnym i odbiciowym, natomiast w trybie ATR 1,25 µm. Matryca umożliwia zarejestrowanie 1024 widm w pojedynczym skanie. Dzięki matrycy FPA i dołączonemu oprogramowaniu możliwe jest szybkie wykrycie zmian, anomalii i defektów analizowanych próbek.
Na zdjęciu: Mapowanie w podczerwieni powierzchni próbki materiałowej w trybie odbiciowym z użyciem matrycy FPA.
Projekt przemysłowo-badawczy dla Centrum Dydaktyczno-Naukowego Mikroelektroniki i Nanotechnologii
Miło nam poinformować, że projekt Centrum Dydaktyczno-Naukowego Mikroelektroniki i Nanotechnologii UR napisany w konsorcjum z Instytutem Technologii Elektronowej – Łukasiewicz oraz partnerem technologicznym jakim jest SEEN Semiconductors sp. z o.o. pt.: „Technologia wytwarzania heterostruktur fotonicznych dla potrzeb detekcji w podczerwieni” znalazł się na pierwszym miejscu listy rankingowej Narodowego Centrum Badań i Rozwoju w ramach programu strategicznego TECHMATSTRATEG III i decyzją nr DWP/TECHMATSTRATEG-III/131/2020 otrzymał dofinansowanie.
Celem projektu jest opracowanie skalowalnej technologii wytwarzania supersieci I i II rodzaju GaSb/AlSb, InAs/AlSb i InAs/GaSb o długofalowej krawędzi absorpcji z zakresu krótko- (SWIR, 1,5 – 3 μm), średnio- (MWIR, 3 – 5 μm), długofalowej (LWIR, 8 – 14 μm) i dalekiej podczerwieni (VLWIR, >14 μm). Produktem projektu będą heterostruktury fotoniczne mające zastosowanie w konstrukcji przyrządów do detekcji i emisji światła z zakresu IR.
Supersieci oraz złożone heterostruktury przyrządowe, które będą mogły być wytworzone z wykorzystaniem opracowanej w ramach projektu technologii będą skierowane do małych i średnich podmiotów
o wyspecjalizowanym charakterze produkcyjnym. Tego rodzaju niszowe produkty odznaczają się wysokimi kosztami wynikającymi w dużej mierze z dostępności wysokich technologii (Hi-Tech) oraz kapitału ludzkiego o interdyscyplinarnej wiedzy i szerokim doświadczeniu. Dodatkowym efektem wprowadzenia na rynek rozwiązań wypracowanych w ramach projektu będzie jego stymulacja zarówno z punktu widzenia cen obecnych produktów, jak i kreowania przestrzeni dla nowych podmiotów i nowych zastosowań.
Laboratoria
Laboratorium technologiczne MBE z kontrolą jakości wytwarzanych struktur: SIMS
Laboratorium zawiera instalację Double RIBER COMPACT 21 wraz z kontrolą jakości otrzymanych struktur z dokładnością do 1018 cm-3.
Laboratorium technologiczne nanolitografii z fotolitografią
Laboratorium technologiczne foto i nanolitografii – umieszczone jest w pokojach czystych i zostało podzielone na dwa stanowiska.
Laboratorium naukowe magnetotransportu przy niskich i ultra niskich temperaturach
Laboratorium Kriomagnetyczne wyposażone w system magnesu nadprzewodzącego generującego pole magnetyczne do 14 Tesli. Dzięki wykorzystaniu w nim 3He umożliwia pomiary w zakresie temperatur 0.3K-300K.
Laboratorium naukowe niskotemperaturowej luminescencji
Celem pracowni jest pomiar parametrów luminescencji i określenie stanów energetycznych w niskich temperaturach 4,2K struktur niskowymiarowych.
PROJEKTY BADAWCZE REALIZOWANE PRZEZ CENTRUM
Opracowanie i wdrożenie pierwszej polskiej kamery na podczerwień na bazie niechłodzonej matrycy fotodetektorów
Celem projektu jest opracowanie i wdrożenie pierwszej polskiej kamery na bazie niechłodzonej matrycy fotodetektorów z supersieci II rodzaju InAs/GaSb na pasmo od 3 µm do 5 µm.
Wpływ punktu Diraca na stany elektronowe i fononowe w nanostrukturach na bazie związków półprzewodnikowych HgCdTe, HgZnTe.
Celem projektu jest wytwarzanie struktur zawierających tzw. punktu Diraca.
Poznanie mechanizmów fizycznych decydujących o umocnieniu nowych powłok nanokompozytowych i mulitiwarstw otrzymanych w procesach PVD
Transport kwantowy w nanostrukturach wykonanych z izolatora topologicznego HgTe/HgCdTe
Projekt NCN Preludium „Transport kwantowy w nanostrukturach wykonanych z izolatora topologicznego HgTe/HgCdTe”.
Kompleks Naukowo-Dydaktyczny Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytet Rzeszowski
Program Operacyjny Infrastruktura i Środowisko 2007-2013 oś priorytetowa XIII, działanie 13.1 Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego.
Komercjalizacja
Centrum Dydaktyczno-Naukowe Mikroelektroniki i Nanotechnologii (CDNMiN) Uniwersytetu Rzeszowskiego otrzymał zgodę (decyzją OPI z 29 Marca 2018 – aneks z 04-04-2018 do umowy o dofinansowanie budowy Centrum) na działalność gospodarczą. Zgoda Instytucji pośredniczącej obejmuje komercyjne wykorzystanie infrastruktury w zakresie następujących usług badawczych:
- wytwarzania nanostruktur;
- analiza składu chemicznego;
- badań przewodności elektrycznej materiałów w szerokim zakresie temperatur ;
- badań optycznych własności materiałów w szerokim zakresie widma spektroskopowego;
- badania powierzchni metodą mikroskopii sił atomowych;
- badanie widm oscylacyjnych.
Uchwałą Senatu Uniwersytetu Rzeszowskiego z dnia 28 maja 2018r, Senat wyraża zgodę na komercyjne wykorzystanie infrastruktury, powstałej w zakresie projektu pod nazwą „Kompleks Naukowo-Dydaktyczny Mikroelektroniki i Nanotechnologii ” zrealizowanego w ramach Programu Operacyjnego Infrastruktura
i Środowisko Priorytet XIII – Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego, Działanie 13.1 – Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego – nr POIS.13.01.00-00.018/18.
W wyniku podjętych działań cały aparatura badawczo naukowa będąca na wyposażeniu CDNMiN może zostać wykorzystana komercyjnie na potrzeby podmiotów zewnętrznych. Całość dostępnej aparatury znajduje się w zakładce Laboratoria, gdzie znaleźć można zakres prowadzonych badań naukowych oraz specyfikację całości wyposażenia Laboratoriów Centrum.
Oferta komercyjna przeznaczona jest dla wszystkich podmiotów działających na rynku zarówno tych komercyjnych jak i jednostek naukowych czy instytucji badawczych. Szczegółowe informacje na temat zakresu usług komercyjnych prowadzonych przez CDNMiN można uzyskać pod numerem telefonu: +48 178518670 lub za pośrednictwem poczty email: cmikroinano@ur.edu.pl
KOMPLEKS NAUKOWO-DYDAKTYCZNY CENTRUM MIKROELEKTRONIKI I NATECHNOLOGII UR
Partnerzy
współpracujemy z ośrodkami i instytucjami w Polsce i na świecie






KONTAKT
Centrum Dydaktyczno – Naukowe Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego